提起離子注入機(jī),，熟悉集成電路的人都知道,，該設(shè)備與光刻機(jī),、刻蝕機(jī),、鍍膜機(jī)并稱為芯片制造的“四大核心裝備”,，其高端市場長期被國外壟斷,。

20多年前,，為突破集成電路裝備自主創(chuàng)新的堵點(diǎn)卡點(diǎn),，中國電科所屬中電科電子裝備集團(tuán)（以下簡稱“電科裝備”）第四十八研究所組建研發(fā)團(tuán)隊(duì)，走上離子注入機(jī)科研攻關(guān)之路,。

“當(dāng)時,，我國離子注入機(jī)工藝精度只有0.5微米，相比國際先進(jìn)的90納米,，在技術(shù)指標(biāo)上差了三代,?！彪娍蒲b備黨委書記、董事長景璀日前告訴科技日報記者,，“研發(fā)團(tuán)隊(duì)奮起直追,，先后攻克千余項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)離子注入機(jī)‘從無到有’,、再到‘多點(diǎn)開花’的跨越,。”

今年年初,，“中國電科實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝全覆蓋”入選“2023年度央企十大國之重器”,。

“孤勇出征”?造出首臺樣機(jī)

制造芯片時，由于純凈硅不具備導(dǎo)電性,，需要摻入不同種類的元素改變其結(jié)構(gòu)與電導(dǎo)率,。

這一過程要靠離子注入機(jī)來完成——通過電磁場控制高速運(yùn)動的離子，按照工藝要求將其精準(zhǔn)注入硅基材料,，從而控制材料的導(dǎo)電性能,，進(jìn)而形成PN結(jié)等集成電路器件的基本單元。

2003年,，研發(fā)團(tuán)隊(duì)開啟了高端離子注入機(jī)的攻關(guān)歷程。國內(nèi)經(jīng)驗(yàn)匱乏,，國外技術(shù)封鎖,，團(tuán)隊(duì)成員將當(dāng)時的情景形容為“孤勇出征”。

電科裝備旗下北京爍科中科信電子裝備有限公司（以下簡稱“爍科中科信”）技術(shù)總設(shè)計師彭立波回憶,，他們擠在小公寓里研究設(shè)計圖紙,，在租借的小廠房里做實(shí)驗(yàn)。團(tuán)隊(duì)里剛畢業(yè)的小伙,、剛成家生子的青壯年,，以及快退休的老同志，大家一起工作,、一起生活,，隔3個月才能回一次家。

為盡快打造出具有市場競爭力的裝備,，研發(fā)團(tuán)隊(duì)選擇了一款100納米機(jī)型作為參考機(jī)器,。“為什么這樣設(shè)計,？跟應(yīng)用有什么對應(yīng)關(guān)系,？都要逐一認(rèn)知、消化吸收,?！迸砹⒉ㄕf,。

那時缺乏計算機(jī)輔助設(shè)計工具，面對內(nèi)部結(jié)構(gòu)精密而復(fù)雜的離子注入機(jī),，幾位經(jīng)驗(yàn)豐富的老師傅絞盡腦汁,，整天圍著設(shè)備苦苦鉆研，全憑二維設(shè)計和空間構(gòu)思去理解這些構(gòu)造,，用了幾個星期才把它搞明白,。

“離子注入機(jī)采用光纖通信系統(tǒng)進(jìn)行控制，我們必須弄清楚光纖通信模塊的底層控制邏輯,?！迸砹⒉ǜ嬖V記者。由于從樣機(jī)中只能獲得二進(jìn)制代碼,，研發(fā)人員被逼反向破解,，逐行逐字推敲，摸索控制指令及其對應(yīng)的功能,，反復(fù)琢磨這些指令對產(chǎn)品工藝精度和技術(shù)指標(biāo)的影響,。

歷時近兩年，研發(fā)團(tuán)隊(duì)在吃透機(jī)器構(gòu)造原理,、控制設(shè)計思路等基礎(chǔ)上,，完成了自主樣機(jī)的設(shè)計方案，并突破關(guān)鍵部件研制難題,，最終造出首臺樣機(jī),。

“破釜沉舟”?完成工藝驗(yàn)證

從樣機(jī)到市場，其間路途漫漫,。

“功能和指標(biāo)只是進(jìn)入市場的第一道門檻,。要得到用戶認(rèn)可，嚴(yán)苛的工藝驗(yàn)證才是真正的考驗(yàn),?！迸砹⒉ㄕf。

回憶起考驗(yàn)的艱辛,，爍科中科信研發(fā)工程中心總監(jiān)陳輝至今仍“心有余悸”,。

2012年底，研發(fā)團(tuán)隊(duì)成功研制出28納米中束流離子注入機(jī),，陳輝帶著設(shè)備進(jìn)駐用戶單位,。按規(guī)定，要在兩年內(nèi)完成產(chǎn)線工藝驗(yàn)證,。實(shí)際上,，除去大規(guī)模量產(chǎn)前的穩(wěn)定性驗(yàn)證和試投產(chǎn)，真正留給工藝驗(yàn)證的時間只有一年左右。

離子注入機(jī)完成一輪驗(yàn)證就需要近3個月,，而且其過程像“開盲盒”,。只有把所有工序走完，對成品進(jìn)行電性測量后,，才知道離子注入質(zhì)量如何,。一旦驗(yàn)證結(jié)果不合格，就要調(diào)出整個注入過程中所有的參數(shù),，逐一檢查比對,，找到問題，然后修正,。

此前,，研發(fā)團(tuán)隊(duì)已成功交付90至65納米離子注入機(jī)，在回溯調(diào)查,、工藝處理方面積累了豐富經(jīng)驗(yàn),。但28納米工藝對注入劑量、角度,、能量等技術(shù)參數(shù)更敏感,，對精度要求更高，由此帶來許多新問題,，需要一點(diǎn)點(diǎn)摸索,。

“第一輪驗(yàn)證，沒有完全成功,?！标愝x說。他和同事回溯,、修正，線上,、線下試驗(yàn),，再等3個月出產(chǎn)品，又測一輪,，仍未成功,。

對于2013年的夏天，陳輝迄今難以忘懷,。除了40攝氏度的持續(xù)高溫,，連續(xù)失敗更令他備受煎熬。用戶也承受了巨大壓力,，乃至發(fā)出最后通牒：“再不行就把設(shè)備搬走,！”

第三輪驗(yàn)證被陳輝形容為“破釜沉舟”。他們對設(shè)備進(jìn)行軟硬件升級，把此前出過問題的環(huán)節(jié)全部重試一遍,，確保無誤之后才開始驗(yàn)證,。

這一輪驗(yàn)證雖然花費(fèi)了更多時間，但終于達(dá)到了用戶的要求,，同時也獲得了他們的信任,。全部驗(yàn)證流程完成后，用戶如約采購了這臺設(shè)備,，并對此后采購的同類設(shè)備簡化了驗(yàn)證流程,。

“多點(diǎn)開花”?打造國之重器

完成28納米中束流離子注入機(jī)工藝驗(yàn)證后，研發(fā)團(tuán)隊(duì)于2017年全面鋪開大束流離子注入機(jī)研發(fā),。他們要在產(chǎn)品譜系上“多點(diǎn)開花”,。

中束流與大束流離子注入機(jī)，分別應(yīng)用在芯片制造的不同環(huán)節(jié),，適用于不同工藝需求,。二者各有所長，缺一不可,。

“簡單說,，芯片核心計算部位的‘精細(xì)活’由中束流機(jī)型做；芯片外圍引腳之類的‘粗活’由大束流機(jī)型做,?！迸砹⒉ù虮确降溃@樣的配合既能提高效率,，又能降低成本,。

有了中束流設(shè)備的研制經(jīng)驗(yàn)，大束流設(shè)備研制一路“高歌猛進(jìn)”——2018年實(shí)現(xiàn)樣機(jī)設(shè)計,，2019年完成樣機(jī)裝配及調(diào)試,，2020年交付用戶，2021年底開始工藝驗(yàn)證,。

但驗(yàn)證過程并沒有想象中順利,，研發(fā)團(tuán)隊(duì)經(jīng)歷了又一次刻骨銘心的爬坡過坎。

“幾乎所有指標(biāo)都達(dá)到了期望值,，就在我們以為勝利在望時,，某一元素的離子注入劑量被檢測出偏差過大?！标愝x說,。

為了找出問題的原因，研發(fā)團(tuán)隊(duì)不得不從設(shè)計源頭重溯——這相當(dāng)于從頭再來,。他們每天24小時守在實(shí)驗(yàn)室里,，開展大量仿真實(shí)驗(yàn)和工藝驗(yàn)證,。就這樣連續(xù)奮戰(zhàn)了兩個多月，終于使劑量偏差精度達(dá)到國際先進(jìn)水平,。

隨著時間的推移,，器件研制能力持續(xù)增強(qiáng)，軟件系統(tǒng)不斷迭代升級,，工藝精度穩(wěn)步提升……2023年,，研發(fā)團(tuán)隊(duì)成功實(shí)現(xiàn)全系列離子注入機(jī)28納米工藝全覆蓋。

20多年來,，研發(fā)團(tuán)隊(duì)先后研制出中束流,、大束流、高能,、特種等全系列國產(chǎn)離子注入機(jī)產(chǎn)品,，超百臺設(shè)備廣泛應(yīng)用于各集成電路制造企業(yè)90納米、55納米,、40納米,、28納米工藝生產(chǎn)線，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全與穩(wěn)定提供了堅實(shí)保障,。

“習(xí)近平總書記在考察中國電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院時指出,，必須瞄準(zhǔn)國家戰(zhàn)略需求，系統(tǒng)布局關(guān)鍵創(chuàng)新資源,，發(fā)揮產(chǎn)學(xué)研深度融合優(yōu)勢,，不斷在關(guān)鍵核心技術(shù)上取得新突破?！本拌蛴浾弑硎?，“下一步，我們將一以貫之,、久久為功,，繼續(xù)推動離子注入機(jī)的創(chuàng)新迭代和量產(chǎn)應(yīng)用，全力打造高端裝備制造中國名片,！”