新華社記者　陳芳、胡喆

指甲蓋大小面積上制造出超１０億個晶體管,、每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的五千分之一……作為影響國家綜合競爭力的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),，集成電路技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量一個國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標(biāo)志。

高端裝備和材料從無到有,，制造工藝與封裝集成由弱漸強,，技術(shù)創(chuàng)新協(xié)同機制羽翼漸豐……國家科技重大專項實施以來,，打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實現(xiàn)，著力破解我國在高端芯片領(lǐng)域的“缺芯之痛”,。

指甲蓋大小面積上制造出超１０億個晶體管,，小小芯片有多難？

這是一場無法回避的創(chuàng)新競賽,，競賽者不在一條起跑線上,。

長期以來，我國集成電路產(chǎn)業(yè)一直受到西方在先進制造裝備,、材料和工藝引進等方面的種種限制,，高端芯片主要依賴進口。隨著我國國民經(jīng)濟的快速發(fā)展尤其是信息化進程的加快,，對集成電路產(chǎn)品的需求持續(xù)快速增長,，從２００６年開始超過石油成為我國最大宗進口產(chǎn)品，２０１３年至今每年進口額超過２０００億美元,。

一方小小的芯片,，為何如此之難？中國科學(xué)院微電子研究所所長,、專項技術(shù)總師葉甜春告訴記者,，相信大家都沒有親眼見過原子，集成電路（芯片）的制造難度就是原子級的,。以２８納米技術(shù)為例,，集成度相當(dāng)于在指甲蓋大小面積上制造出１０億個以上的晶體管，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的三千分之一,。

“集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細制造的最高水平,，集人類超精細加工技術(shù)之大成，因此集成電路產(chǎn)業(yè)是一個國家高端制造能力的綜合體現(xiàn),，是全球高科技國力競爭的戰(zhàn)略必爭制高點,。”葉甜春說,。

專家指出,，我國在芯片領(lǐng)域面臨的挑戰(zhàn)主要表現(xiàn)在以下幾個方面：一是我國集成電路高端裝備和材料基本處于空白狀態(tài)，完全依賴進口,，產(chǎn)業(yè)鏈嚴重缺失,；二是制造工藝與封裝集成較弱；三是缺乏自主知識產(chǎn)權(quán),，嚴重制約我國集成電路企業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展,。

現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”：芯片強則產(chǎn)業(yè)強

如果說開創(chuàng)工業(yè)時代的驅(qū)動力是蒸汽機，開創(chuàng)電氣時代的驅(qū)動力是電力,，那么開創(chuàng)信息時代的驅(qū)動力就是集成電路,。

“芯片強則產(chǎn)業(yè)強,，芯片興則經(jīng)濟興，沒有芯片就沒有安全,?！比~甜春表示，在信息時代,，集成電路是核心基石,，電腦、手機,、家電,、汽車、高鐵,、電網(wǎng),、醫(yī)療儀器、機器人,、工業(yè)控制等各種電子產(chǎn)品和系統(tǒng)都離不開集成電路,。沒有集成電路產(chǎn)業(yè)支撐，信息社會就失去了“根基”,，集成電路因此被喻為現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”,。

經(jīng)過專項實施，一批集成電路制造關(guān)鍵裝備實現(xiàn)從無到有的突破,。葉甜春表示,，目前國產(chǎn)刻蝕機,、磁控濺射,、離子注入機、等離子化學(xué)氣相沉積,、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備等３０多種關(guān)鍵設(shè)備研制成功并通過了大生產(chǎn)線考核,，實現(xiàn)了海內(nèi)外批量銷售，總體技術(shù)水平達到２８納米,，部分１４納米關(guān)鍵設(shè)備開始進入客戶生產(chǎn)線驗證,。

２００８年國務(wù)院批準(zhǔn)實施集成電路裝備專項，共有２００多家企事業(yè)單位和２萬多名科研人員參與攻關(guān),。９年來,，先后有３０多種高端裝備和上百種關(guān)鍵材料產(chǎn)品研發(fā)成功并進入海內(nèi)外市場，從無到有填補了產(chǎn)業(yè)鏈空白,。

專項實施前我國集成電路行業(yè)所需材料幾乎全部進口,，目前特種氣體、靶材,、部分化學(xué)品等關(guān)鍵材料已研發(fā)完成,，通過大生產(chǎn)線考核認證后大批量使用,，部分產(chǎn)品進入海外市場，國產(chǎn)光刻膠等已開始進入大生產(chǎn)線試用,，在專項的引導(dǎo)下,，一批公司成功上市。

“核高基”這個聽上去“高大上”的名詞,，其實與每個人的生活息息相關(guān),。從手機到電腦，從冰箱到汽車,，甚至每一個Ｕ盤,，都離不開芯片和軟件。這是對核心電子器件,、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件產(chǎn)品的簡稱,，它與載人航天、探月工程等并列為１６個重大科技專項,。

“核心電子器件,、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件產(chǎn)品”專項技術(shù)總師、清華大學(xué)教授魏少軍說：“我們在核心電子器件關(guān)鍵技術(shù)方面取得重大突破,，技術(shù)水平全面提升,，與國外差距由專項啟動前的１５年以上縮短到５年，一批重大產(chǎn)品使我國核心電子器件長期依賴進口的‘卡脖子’問題得到緩解,?！?/p>

培育產(chǎn)品、做大企業(yè)：我國集成電路產(chǎn)業(yè)由弱漸強

面向２０２０年,，我國繼續(xù)加快實施已部署的國家科技重大專項,，重點攻克高端通用芯片、高檔數(shù)控機床,、集成電路裝備等方面的關(guān)鍵核心技術(shù),，形成若干戰(zhàn)略性技術(shù)和戰(zhàn)略性產(chǎn)品，培育新興產(chǎn)業(yè),。

北京市經(jīng)信委主任張伯旭認為,，專項采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈,、金融鏈有效協(xié)同的新模式,，專項與重點區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動引導(dǎo)地方和社會的產(chǎn)業(yè)投資跟進支持,，將有效推動專項成果產(chǎn)業(yè)化,，扶植企業(yè)做大做強，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實力,。

同時,，集成電路制造裝備作為基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，其成果的輻射帶動面很廣,。上海市科委總工程師傅國慶介紹,，利用專項取得的核心技術(shù)，輻射應(yīng)用到ＬＥＤ,、傳感器,、光伏、液晶面板等泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,，使我國相關(guān)領(lǐng)域裝備國產(chǎn)化率大幅提升,。在ＬＥＤ、光伏等領(lǐng)域已實現(xiàn)關(guān)鍵裝備成套國產(chǎn)化,，國產(chǎn)裝備成為市場主流,，ＬＥＤ照明、光伏等產(chǎn)業(yè)規(guī)模躍居世界第一,。

關(guān)于今后的發(fā)展,，葉甜春介紹，專項已經(jīng)在１４納米裝備,、工藝,、封裝、材料等方面進行了系統(tǒng)部署,，預(yù)計到２０１８年將全面進入產(chǎn)業(yè)化,。“十三五”期間還將重點支持７－５納米工藝和三維存儲器等國際先進技術(shù)的研發(fā),，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力,，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢,。（完）